PhysikInstrumente P-726PIFOC高負載掃描器

一、Physik Instrumente企業(yè)介紹

      在過去的五年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術的制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關鍵要素和動機始終保持不變：為客戶尋找優(yōu)良解決方案。

      PI以其產品而聞名，多年來一直是定位技術市場的企業(yè)。其中重要的基石是國際 PI 家族內的團隊精神，這種精神基于超越國界和功能限制的相互理解和支持。

PI 是一家健康成長的私營公司，在擁有 1000 多名員工，并且是一個靈活、垂直整合的組織，這使得 PI 能夠滿足創(chuàng)新定位技術領域的幾乎所有要求。PI 的首要任務是成為客戶可靠

且高素質的合作伙伴。

二、Physik Instrumente主營產品

       PI納米定位壓電撓性平臺、PI微型舞臺、PI線性平臺、PI線性執(zhí)行器、PI旋轉臺、PIXY平臺、PI自動化工程系統(tǒng)等產品

三、PI產品主要應用領域

科學儀器、顯微鏡、硅光子學、半導體技術、醫(yī)療技術、機械工業(yè)、自動化行業(yè)、材料研究行業(yè)

四、主要型號及技術數據

PI P-726PIFOC高負載物鏡掃描器介紹

       較大物鏡的高動態(tài)定位和掃描

       諧振頻率1120赫茲；560赫茲，物鏡210克

       典型步進和穩(wěn)定約為6毫秒

       行程100微米

       直接測量型電容式傳感器帶來線性度、穩(wěn)定性和控制動態(tài)

       分辨率0.3納米

      零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)可實現更好的聚焦穩(wěn)定性

       技術規(guī)格

       規(guī)格：P-726.1CD

       集成傳感器：      電容式/直接測量

       行程，閉環(huán)：     100          微米

       分辨率，閉環(huán)：   0.4          納米    典型值

       分辨率，開環(huán)：   0.3          納米    典型值

       線性誤差，閉環(huán)：0.02         %       典型值

       重復精度：         ±3           納米    典型值

       傾斜θX、θY：    ±5           微弧度  典型值

       X、Y向上的串擾：50          納米     典型值

PhysikInstrumente P-726PIFOC高負載掃描器