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進(jìn)口德國(guó)制造PI微型線性平臺(tái) 帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺(tái)配有伺服線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，該驅(qū)動(dòng)器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可提供高的性能，和使用壽命。

德國(guó)PI平臺(tái) XYZ壓電彎曲掃描儀 PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

德國(guó)PI P-612.2 XY壓電納米位移平臺(tái) 高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過(guò)使用高的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無(wú)漂移的定位

德國(guó)PI線性壓電撓性位移臺(tái) PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過(guò)程，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。